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AD3000T--12寸对向型全自动双轴机

     

      先端技术的融合及全方位应用支持体系 大大提高了顾客满意度

      运用独特的核心技术,实现了占地面积小、生产效率高及优异的 CoO 性能。

独自开发先进的对向式双轴加工模式带来的高效加工能力,结构非常优化的斜向配置

带来的维护便利性,连续多年获得半导体行业十佳供应商荣誉带来的信赖性

 

特征

    1. 选配单元的小型化,内部设计的优化,使得主要选配单元内藏成为可能。

    2. 标准搭载6万转的主轴(8万转选配可对应)


    3. 加工效率提高

       ①. X轴速度1000mm/s,Y轴速度300mm/s,Z轴速度80mm

       ②. 搭载2个光学式测高单元/s

     4. 17英寸触摸屏+GUI

         搭载了GUI(用户操作界面),易于观察的画面和大型的按钮,在增强

         操作性的同时,采用了对话式的容易理解的输入方式。

    5. 维护性向上 

        大型的前部维护门提高了维护的便利性

      


充实的option

  1. 磨刀工作台

     可搭载275mmX75mm尺寸的磨刀板。

     各主轴上的刀片可使用专用磨刀板进行修磨。


  2. 可搭载Air micron单元

     非接触式测量胶带的厚度和工件的厚度。

     精确控制加工高度,实现高精度切割。

  3. 高精度控制加工高度

     加工中X/Y/Z轴同时控制,可对工件高度的起伏进行追踪,实现高精度加工。



技术参数

项目

规格

项目

规格

工作尺寸

Φ305mm  12inch(可选规格)

θ轴

旋转范围

380°

兼容支架

12inch(SEMI G74-0699)

其它

电压

三相AC200 ~ 220v ±10%

主轴

转速

60000r/min

电力消耗

6.0kVAMax

80000r/min(可选)

压缩空气

0.55MPa~0.70MPa

刀片尺寸

Φ60mm(2inch)

平均空气消耗量

210L/min0.55MPa

Φ80mm(3inch)(可选)

平均洁净空气消耗量

140L/min

额定输出

1.8KW

切割水及其它压力范围

0.3MPa~0.5MPa

X

切割范围

310mm

切割水及其它流量

切割水:10.0L/min

速度

1000mm/s

水幕:3.0L/min

Y1/Y2

切割范围

310mm

其它:0.6L/min

速度

300mm/s

冷却水压力

0.3MPa~0.5MPa

分辨率

0.078μm

冷却水流量

3.4L/min0.3MPa

精度

0.002mm/310mm

排气

5.0m3/min以上

Z1/Z2

行程

35mm

设备尺寸

1290mmx1530mmx1900mm

分辨率

0.002μm

设备重量

1360kg

速度

80mm/sec

 

 

 

重复精度

0.001mm