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探针台--UF200R


此探针器是专为通用逻辑装置而设计,不仅继承了UF200的基本概念,同时进一步采用了新技术的架构。


特点

 它可执行5至8英寸晶圆的传输与针测。

 采用和UF2000相同的MMI。

● 多种选择,可达成所有非业界标准种类的晶圆针测。

 

选项

针测环境可接纳高温至低温

4英寸晶圆探测环境

枢纽型机械手臂是为了针测端而设计

封装与超薄晶圆的传输是经由特殊传输机制

SEMS是经由特殊机制传输

微小电流针测环境

高压电针测环境

广泛多样的网络环境

探针追踪检查功能