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高刚性研磨机--HRG300


HRG300 既可以对大尺寸晶圆(300 mm)进行单枚加工,也可以对小直径工件进行多枚同时加工。

 

特点

     ■ 高刚性

     ■ 高加工效率

     ■ 低消耗

     ■ 搭载多枚同时加工的 IPG 功能

     ■ 加工时的磨轮修正单元(选配)

 

可研磨材料:难加工的硬脆材料,比如蓝宝石,碳化硅,氮化镓和氮化铝

可加工尺寸:直径2-12英寸

可加工厚度:20mm(包含基座)

 

●规格参数

 

类别

HRG300

高刚性研磨机

设备尺寸和重量

尺寸:1540(W)×1880(D)×2010(H) mm

重量:3700 kg

加工直径(mm)

300

磨轮直径(mm)

300

磨轮转速(rpm)

3600

工作台转速(rpm)

400

主轴功率(KW)

11

工作台功率(KW)

2

全自动监测

实时测量治具(支持多片同时加工)

研磨精度(μm)

0.1

不间断修磨

选配