HRG300 既可以对大尺寸晶圆(300 mm)进行单枚加工,也可以对小直径工件进行多枚同时加工。
特点
■ 高刚性
■ 高加工效率
■ 低消耗
■ 搭载多枚同时加工的 IPG 功能
■ 加工时的磨轮修正单元(选配)
可研磨材料:难加工的硬脆材料,比如蓝宝石,碳化硅,氮化镓和氮化铝
可加工尺寸:直径2-12英寸
可加工厚度:20mm(包含基座)
●规格参数
类别 |
HRG300 |
高刚性研磨机 |
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设备尺寸和重量 |
尺寸:1540(W)×1880(D)×2010(H) mm |
重量:3700 kg |
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加工直径(mm) |
300 |
磨轮直径(mm) |
300 |
磨轮转速(rpm) |
3600 |
工作台转速(rpm) |
400 |
主轴功率(KW) |
11 |
工作台功率(KW) |
2 |
全自动监测 |
实时测量治具(支持多片同时加工) |
研磨精度(μm) |
0.1 |
不间断修磨 |
选配 |