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高刚性研磨机--HRG200X


 

     ■ 全自动高刚性 2 轴研磨盘

     ■ 实现在短时间之内的无损加工

     ■ 低加工成本

     ■ 高精度加工

     ■ 实现镜面加工

 

 

可研磨材料难加工材料,比如碳化硅,LT,LN

可加工尺寸    尺寸:直径3-8英寸

 

 

●规格参数

 

类别

HRG200X

全自动高刚性双轴研磨机

设备尺寸和重量

尺寸:1540(W)×2050(D)×2010(H) mm

重量:4500 kg

晶圆尺寸(mm)

200

磨轮直径(mm)

250

主轴转速(rpm)

Max.3600

工作台转速(rpm)

Max.800

主轴功率(KW)

6.3

单片总厚度偏差:TTV(μm)

1

片与片厚度偏差:WTW(μm)

±1