产品名称

返回首页>产品分类>高刚性研磨机--HRG3000RMX

高刚性研磨机--HRG3000RMX


特征

     ●全自动高刚性三轴研磨机  

     ●实现快速无损伤加工  

     ●加工成本低 加工精度高  实现镜面加工

 

 

类别

HRG3000X

全自动高刚性三轴研磨机

外观

尺寸:1750(W)×3525(D)×1978(H) mm

重量:11000 Kg

晶圆尺寸(mm

300

磨轮直径(mm

300

磨轮转速(rpm

3600

工作台转速(rpm

650

磨轮主轴功率(kw

11

单片总厚度偏差:TTVμm

0.5(带自动TTV功能)

片与片厚度偏差:WTWμm

±0.5(带自动TTV功能)

 

 

类别

RM3000-HRG

外观

尺寸:1500(W)×4250(D)×1800(H) mm

重量:1600 Kg

晶圆尺寸(mm

300

切割胶膜直径(mm

Φ230(单卷宽度430mm)

揭膜胶带直径(mm

Φ200(单卷宽度50mm)